仪器名称

场发射环境扫描电子显微镜

仪器型号

美国FEI Quanta 400 FEG

仪器简介

        Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。
        Quanta FEG可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。

技术参数

    •MonoCL3+阴极荧光谱仪，波长范围160-930nm

    •电子束感生电流（EBIC）

    • STEM探测器

    • Apollo 40 SDD能谱仪

    • 液氮冷台，温度范围为-185℃- +200℃

    • 液氦冷台，温度范围为6K-300K

仪器功能

    • 可在高真空、低真空（130Pa)、环境真空(4000Pa)下观察导电和不导电样品，对材料的表面和横截面的微观形貌、成分进     行分析，广泛应用于金属材料、高分子材料、半导体材料、纳米材料等领域；

    • 配备的Apollo40 SDD能谱无需液氮制冷，可进行快速的点、线、面分布分析，获得能谱的mapping图谱；

    • 其样品室直径达284 mm，对于直径达四英寸硅片可以直接进行测试，无需对样品进行分割处理；

检测案例一

（图片）

检测案例二

（能谱）

样品要求

        建议提供文献图片或者以前做过的图片，如果没有，检测要求需详细填写。可提供12张图片：即筛选出三个比较好的区域，每个区域提供3-4张不同放大倍数满足测试要求的图片，对于找不到符合测试要求的区域的样品，我们将会多拍一些区域以证明样品的真实情况！寄送样品质量大于20mg。