仪器名称

X射线光电子能谱仪

仪器型号

Thermo escalab 250Xi

生产厂家

Thermo fisher

技术参数

    180°半球能量分析器        能量范围：0～5,000 eV

     Al Kα单色化XPS              Mg/Al双阳极XPS 

    X射线束斑面积从900 μm到200 μm连续可调；

    大束斑：Ag3d5/2（FWHM＝0.50eV）强度≥400 kcps；20 µm束斑 ：Ag3d5/2（FWHM＝0.45 eV）强度≥0.5 kcps；

    大束斑：Ag3d5/2（FWHM＝0.8 eV）强度大于650 kcps；

    对Ag3d5/2线扫描的空间分辨率优于3 μm；

应用范围

     1）  物质定性分析：根据测得的光电子动能可确定材料表面存在哪些元素，灵敏度(0.1at%)；

     2）  物质定量分析：根据某种能量的光 电子的强度确定元素在其表面的含量，误差20%左右；

     3） 元素化学态分析：根据某元素光电子动能的位移可了解元素所处的化学状态。

主要功能

    测量物体表面3-5 nm内的元素成分及价态；定性分析；定量分析；元素价态分析；离子刻蚀分析

定性分析

半定量分析

价态分析

 样品要求

      寄送样品须干燥处理；样品须是粉末或是小于4 mm的块状颗粒。如进行价态分析须注明窄扫元素；如进行半定量分析须注明半定量元素；元素含量仅供参考如需精确定量请选择其它检测项目；如需刻蚀需注明刻蚀的厚度及次数；寄送样品质量大于50 mg。