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冷场发射扫描电子显微镜
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冷场发射扫描电子显微镜

仪器照片

仪器名称

场发射环境扫描电子显微镜

仪器型号

美国FEI Quanta 400 FEG

仪器简介

        Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势,可对各种各样的样品(包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等)进行高分辨的静态和动态观察和分析。
        Quanta FEG可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。

技术参数

    •MonoCL3+阴极荧光谱仪,波长范围160-930nm

    •电子束感生电流(EBIC)

    • STEM探测器

    • Apollo 40 SDD能谱仪

    • 液氮冷台,温度范围为-185℃- +200℃

    • 液氦冷台,温度范围6K-300K

仪器功能

    • 可在高真空、低真空130Pa)、环境真空(4000Pa)下观察导电和不导电样品,对材料的表面和横截面的微观形貌、成分进     行分析,广泛应用于金属材料、高分子材料、半导体材料、纳米材料等领域;

    • 配备的Apollo40 SDD能谱无需液氮制冷,可进行快速的点、线、面分布分析,获得能谱的mapping图谱;

    • 其样品室直径达284 mm,对于直径达四英寸硅片可以直接进行测试,无需对样品进行分割处理;

检测案例一

(图片)


检测案例二

(能谱)

样品要求

        建议提供文献图片或者以前做过的图片,如果没有,检测要求需详细填写。可提供12张图片:即筛选出三个比较好的区域,每个区域提供3-4张不同放大倍数满足测试要求的图片,对于找不到符合测试要求的区域的样品,我们将会多拍一些区域以证明样品的真实情况!寄送样品质量大于20mg

 

 

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